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一般洁净度在1000级到10000级，温湿度控制严格，需要很高的洁净工艺； 由于电子元器件工艺生产技术的特殊性，它对生产环境，如洁净度、温度、湿度都有严格的要求，这直接关系到晶圆产品的质量和寿命，必须严格控制在要求范围之 内。在工程设计中，暖通空调专业担负着保证生产区洁净度等级和温度、湿度要求的使命。
洁净室系统采用集中送风形式。 顶送侧下回风形式；
过滤系统如何选择
洁净室系统采用集中送风形式。 顶送侧下回风形式；
维护结构如何选择
1.千级、万级洁净室墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板，阴角全部选用圆弧连接；采用回风立柱为回风技术夹道；
2.地面：一般为pvc防静电地板或2mm环氧树脂自流平地面；
净化参数
换气次数：1000级≥60次，1000级≥25次；；。
压差：主车间对相邻房间≥10Pa平均风速：00级0.3－0.5m/s；
温度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波动±2℃。
湿度45－65%；噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10%－30%；照度：不低于350LX；
